Compatibility Assessment of CVD growth of Carbon nanofibers on bulkCMOS devices
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2008
Författare
Farzan Alavian Ghavanini
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Helen lepoche
Jonas Berg
Muhammad Amin
Mohammad Kabir
Per Lundgren
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Elektroteknik och elektronik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet