Applications of aluminium nitride films deposited by reactive sputtering to silicon-on-insulator materials
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996
Författare
Stefan Bengtsson
Mats Bergh
Manolis Choumas
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Christian Olesen
Kjell Jeppson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Japanese Journal Of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers
Vol. 35 8 4175-4181
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik