Hot Embossed Microoptics in Silicon Micromachining using a Substrate Bonder
Paper i proceeding, 2008
Författare
Karin Hedsten
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Caglar Ataman
Sven Holmström
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system
Hakan Urey
Proceedings of 19th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2008
137-140
978-3-00-025529-8 (ISBN)
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Elektroteknik och elektronik
Annan elektroteknik och elektronik
ISBN
978-3-00-025529-8